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반도체공정 나노패터닝

반도체공정 나노패터닝

나노센서 대량 생산 공정 기술*

* 나노종합기술원 (NNFC) 과 협업

  • 나노바이오 센서 개발
  • 소량의 샘플로 정량검사 가능
  • 나노웰 어레이 구조를 이용한 높은 민감도
  • 바이오 분자 고정 및 반응 제어를 통한 높은 특이성
  • 낮은 가격 및 높은 호환성
Design
Fabrication
Evaluation
반도체 기반 전기화학 나노바이오센서
  • 반도체 공정 기술 도입
  • 고해상도, 고정밀의 반도체 공정을 통해 미세 구조와 회로를 일관되게 제조하여 재현성 극대화 (NNFC)

  • 자동화된 반도체 제조 기술을 사용하여 복잡한 공정을 단순화하고 대량 생산을 통해 비용 절감 (NNFC)

  • 12인치 웨이퍼 공정은 고성능, 고집적 회로가 필요한 분야에 큰 장점, 대량생산, 비용절감 (NT CREATES)